柱形腔（圆柱腔）
● 适配6-10KW微波源
● 漏率低，保压效果更好腔板、铜托均可升降等离子球形状可调
● 温度均匀
● 不烧玻璃
● 容易安装
- 频率： 6~10kW
- 沉积台直径： 60~80mm
- 观察窗： 3个
- 内径： 208mm
- 进出料口直径： 100mm
- 升降行程： 30mm
- 铜台升降功能： 有
- 生长台升降功能： 有
- 生长台旋转功能： 有
- 产品参数
- 频率： 6~10kW
- 沉积台直径： 60~80mm
- 观察窗： 3个
- 内径： 208mm
- 进出料口直径： 100mm
- 升降行程： 30mm
- 铜台升降功能： 有
- 生长台升降功能： 有
- 生长台旋转功能： 有
产品特点
- 适配6-10KW微波源
- 漏率低，保压效果更好腔板、铜托均可升降等离子球形状可调
- 温度均匀
- 不烧玻璃
- 容易安装
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